Arzuffi BDS-MF是一款等離子發(fā)生器，其正弦輸出電壓為40 kHz，*大功率輸出為5 kW或10 kW，專為PECVD等離子或等離子體激發(fā)而設(shè)計(jì)。
　　該發(fā)生器能夠提供高達(dá)10kW(5KW)至5000V的RMS輸出。輸出為兩個(gè)對(duì)稱電*的平衡型。
　　典型的應(yīng)用是大型工藝室的PECVD工藝。
　　一個(gè)特點(diǎn)是內(nèi)部輸出的高壓變壓器，帶有兩個(gè)插座，以適應(yīng)等離子體阻抗。
　　該發(fā)生器設(shè)計(jì)用于現(xiàn)有機(jī)器上的即插即用安裝。
　　ARZUFFI發(fā)電機(jī) BDS-MF系列參數(shù)：

	BDS-MF5K	BDS-MF10K
輸出功率	負(fù)載為2000歐姆負(fù)載時(shí)為5 kWatt	負(fù)載為2000歐姆負(fù)載時(shí)為10 kWatt
供電電壓	3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ，10A (L1，L2，L3，PE)	3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ，18 A(L1，L2，L3，PE)
尺寸	抽屜19英寸機(jī)架，4UI高度(177毫米)540毫米深度	抽屜19英寸機(jī)架，4UI高度(177毫米)540毫米深度
重量	20KG鋁制容器	20KG鋁制容器
冷卻	空氣冷卻，**散熱器，該裝置可在高達(dá)40°C的環(huán)境溫度下工作	空氣冷卻，**散熱器，該裝置可在高達(dá)40°C的環(huán)境溫度下工作
輸出電壓	在2000歐姆負(fù)載時(shí)，tap2上的電壓高達(dá)5000V	在2000歐姆負(fù)載時(shí)，tap2上的電壓高達(dá)5000V
輸出電流	TAP1上*高3.5 A，TAP2上*高2.5A	TAP1上*高3.5 A，TAP2上*高2.5A
輸出連接器	2個(gè)Fischer 105連接器上的平衡輸出，用于RG214 / U同軸電纜	2個(gè)Fischer 105連接器上的平衡輸出，用于RG214 / U同軸電纜
等離子點(diǎn)火電壓	大于5500 VRMS	大于5500 VRMS
電弧識(shí)別電路	過流一次回路，反應(yīng)時(shí)間1微秒	過流一次回路，反應(yīng)時(shí)間1微秒
接口	DB25連接器，模擬10V信號(hào)，24V數(shù)字 引腳排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII© RS232或PROFIBUS 發(fā)生器(可選)	DB25連接器，模擬10V信號(hào)，24V數(shù)字 引腳排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII© RS232或PROFIBUS 發(fā)生器(可選)
前面板	LCD顯示2×40個(gè)字符	LCD顯示2×40個(gè)字符
測(cè)量電路	RMS電壓，RMS電流，負(fù)載上提供的有功功率	RMS電壓，RMS電流，負(fù)載上提供的有功功率
調(diào)節(jié)電路	動(dòng)力	動(dòng)力
高壓輸出變壓器	兩個(gè)Tap1輸出插座，用于1000歐姆負(fù)載，Tap2用于2000歐姆負(fù)載	兩個(gè)Tap1輸出插座，用于1000歐姆負(fù)載，Tap2用于2000歐姆負(fù)載
合規(guī)	EC可根據(jù)要求提供符合性聲明	EC可根據(jù)要求提供符合性聲明