關鍵詞：Parker,流量,范圍,從,0-5sccm,到,0-100
流量范圍從0-5sccm到0-1000slpm(氮氣)
• 設定點的響應時間不超過1sec
• 控制精度可達實際流量的1%
• I/O(輸入&輸出)可選模擬和數字信號
• 可實現本地/遠程設置/顯示
